Με την ταχεία ανάπτυξη της βιομηχανίας ημιαγωγών, οι απαιτήσεις για τον εξοπλισμό και τις διαδικασίες παραγωγής γίνονται όλο και υψηλότερες. Στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών, χρησιμοποιούνται μεγάλος αριθμός σωλήνων και εύκαμπτων σωλήνων για τη μεταφορά διαφόρων αερίων, υγρών και χημικών ουσιών. Ο εύκαμπτος σωλήνας πολυτετραφθοροαιθυλένιο (PTFE) έχει χρησιμοποιηθεί ευρέως στη βιομηχανία ημιαγωγών λόγω των μοναδικών ιδιοτήτων της.
1. Πλεονεκτήματα απόδοσης του εύκαμπτου σωλήνα πολυτετραφθοροαιθυλενίου
1. Αντίσταση υψηλής θερμοκρασίας
Στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών, απαιτούνται διαδικασίες σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας. Ο εύκαμπτος σωλήνας PTFE έχει εξαιρετική αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία και μπορεί να χρησιμοποιηθεί για μεγάλο χρονικό διάστημα στην περιοχή θερμοκρασίας -60 ° C έως 250 ° C χωρίς παραμόρφωση ή βλάβη.
2. Αντίσταση διάβρωσης
Κατά τη διάρκεια της διαδικασίας κατασκευής ημιαγωγών χρησιμοποιούνται μια ποικιλία διαβρωτικών αερίων και χημικών ουσιών. Ο εύκαμπτος σωλήνας PTFE έχει εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση και είναι ανθεκτικός στα περισσότερα διαβρωτικά αέρια και χημικά χωρίς χημική αντίδραση ή διάβρωση.
3. χαμηλός συντελεστής τριβής
Στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών, πρέπει να μεταφερθούν υγρά υψηλής ταχύτητας και υψηλής ακρίβειας. Ο εύκαμπτος σωλήνας PTFE έχει χαμηλό συντελεστή τριβής, ο οποίος μπορεί να μειώσει την απώλεια τριβής του υγρού και να βελτιώσει την αποτελεσματικότητα της μετάδοσης. Ταυτόχρονα, ο εύκαμπτος σωλήνας PTFE έχει επίσης εξαιρετικές ιδιότητες κατά της προσκόλλησης, οι οποίες μπορούν να εμποδίσουν την προσκόλληση και την κατάθεση του υγρού και την εναπόθεση, εξασφαλίζοντας την καθαριότητα και την ομαλότητα του αγωγού.
4. υψηλή διαφάνεια
Κατά τη διάρκεια της διαδικασίας κατασκευής ημιαγωγών, τα υγρά πρέπει να παρακολουθούνται και να ελέγχονται σε πραγματικό χρόνο. Ο εύκαμπτος σωλήνας PTFE έχει υψηλή διαφάνεια, καθιστώντας εύκολο να παρατηρηθεί η κατάσταση ροής και οι αλλαγές ποιότητας του υγρού.
2. Εφαρμογή του εύκαμπτου σωλήνα PTFE στη βιομηχανία ημιαγωγών
1. Μεταφορά αερίου
Στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών, πρέπει να χρησιμοποιηθούν μεγάλη ποσότητα αερίων υψηλής καθαρότητας, όπως άζωτο, οξυγόνο, αργόν κλπ. Ο εύκαμπτος σωλήνας PTFE έχει εξαιρετικές ιδιότητες μετάδοσης αερίου και μπορεί να εξασφαλίσει την καθαρότητα του αερίου και την απόδοση μετάδοσης.
2. Μεταφορά υγρού
Στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών χρησιμοποιείται μια μεγάλη ποσότητα υγρών χημικών ουσιών, όπως φωτοανθεραπεία, υγρό καθαρισμού, υγρό χάραξης κλπ. Ο εύκαμπτος σωλήνας PTFE έχει εξαιρετικές ιδιότητες μετάδοσης υγρού και μπορεί να εξασφαλίσει την ποιότητα και την απόδοση μετάδοσης υγρού.
3. Σύστημα κενού
Κατά τη διάρκεια της διαδικασίας κατασκευής ημιαγωγών, τα συστήματα κενού απαιτούνται για τη διατήρηση της καθαριότητας του περιβάλλοντος παραγωγής. Ο εύκαμπτος σωλήνας PTFE έχει εξαιρετική απόδοση σφράγισης κενού και μπορεί να εξασφαλίσει τη σφράγιση και τη σταθερότητα του συστήματος κενού.
4. Περιβάλλον υψηλής θερμοκρασίας
Στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών απαιτούνται διεργασίες σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας, όπως η θερμική οξείδωση, η θερμική διάχυση κλπ. Ο εύκαμπτος σωλήνας PTFE έχει εξαιρετική αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία και μπορεί να χρησιμοποιηθεί σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας για μεγάλο χρονικό διάστημα.
3. Συμπέρασμα
Ο εύκαμπτος σωλήνας PTFE διαθέτει ευρείες προοπτικές εφαρμογής στη βιομηχανία ημιαγωγών και οι εξαιρετικές ιδιότητές του καθιστούν την ιδανική επιλογή για διάφορους σωλήνες και σωλήνες στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών.
